历时6年的研发，荷兰飞纳公司于2018年推出了首套稳定运行的台式场发射（FEG）电镜能谱一体机Phenom LE台式场发射电镜能谱一体机，采用肖特基场发射电子枪（FEG），集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析于一体。飞纳台式场发射电镜操作简单，效率高，无需防震台和磁屏蔽，无楼层要求，只需要一张承重200kg的桌子。飞纳台式场发射电镜能谱一体机zhuan利腔室设计得到*的探测角度和工作距离，显著提高X射线的收集效率。该能谱采用稳定坚固的超薄Si3N4窗口，透过率在0.26-0.6 KeV低能量范围，是聚合物窗口的2-3倍，适合轻元素检测和低电压能谱分析。量范围平均透过率比聚合物窗口高35%，进一步提高了能谱仪的X射线计数率。仪器特点：1、高分辨台式场发射电镜：肖特基场发射电子源，分辨率优于2.5nm@15kV2、zui快的场发射扫描电镜:内置真空锁，15s抽真空,实时导航，全面跟踪样品3、使用zui方便的场发射电镜：30分钟培训即可上手，无需喷金直接观察不导电样品4、场发射电镜能谱一体机：原厂集成能谱仪，B(5)-Am(95)元素探测5、升级功能：飞纳台式场发射电镜能谱一体机可选配所有的样品杯硬件选件，还可选配孔径、颗粒、纤维统计分析测量系统和3D粗糙度重建等软件选件。Phenom LE台式场发射电镜能谱一体机主要参数： 光学显微镜 放大 20-135 倍 电镜放大 zui高 500,000 倍 探测器 标配背散射电子、二次电子探测器 灯丝材料 肖特基场发射电子源 分辨率 优于 2.5 nm@15kV 放置环境 普通实验室或办公室、厂房 加速电压 2 kV-15 kV 连续可调 抽真空时间 小于 15 秒 探测元素范围 B（5）- Am（95）号元素 能谱探测器 硅漂移探测器（SDD） 输出报告 DOCX 冷却方式 无液氮 Peltier 效应电制冷 X射线分析模式 15 kV 能量分辨率 ＜132eV（Mn Kα） 窗口 Si3N4