半导体检查显微镜产品介绍 能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用） 应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。 半导体／FPD检查显微镜MX61L 半导体／FPD检查显微镜MX61L 观察影像实例 晶圆（明视场观察） 晶圆（暗视场观察） 晶圆（微分干涉观察） 彩色滤色片（透射观察） 半导体检查显微镜技术参数 半导体／FPD检查显微镜 MX61L 规格 光学系统 UIS2光学系统（无限远校正） 机身 观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 反射/透射 反射/透射 照明装置 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） 照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 透射照明 纤维光导 对焦单元 电动/手动 手动 行程 32 mm 分辨率/微调灵敏度 微调旋钮转动1周移动0.1 mm 样本高度 30 mm 物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔 明暗视场微分干涉5孔 明暗视场微分干涉6孔 明暗视场微分干涉中心输出5孔 手动式 - 载物台 行程 14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范围356×284 mm） 观察筒 广角视场（视场数22） 倒置 双目/三目观察筒 正像 三目观察筒 超宽视场（视场数26.5） 倒置 三目观察筒 正像 倾斜三目观察筒 附件单元 DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 外形尺寸 710（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合） 重量 51 kg（标准组合） 半导体检查显微镜标准配置 主机； 光学系统； 照明装置； 对焦单元； 物镜转换器； 载物台； 观察筒； 半导体检查显微镜可选配件 物镜转换器：5孔；6孔； 观察筒：广角视场；超广角视场； 附件单元：DUV单元；IR单元； 载物台：电动载物台；自动装载