单晶硅微电子产品生产用高纯水
单晶硅等硅材料、集成电路芯片及封装、液晶显示、光电器件、各种电子器件、微电子工业、需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。目前对其清洗和生产的水质精度要求都比较高,电阻度一般要求大于10兆欧/厘米; 其主要工艺如下: 1、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 2、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 涂料、油漆和清洗剂的生产 ,由于生产时对纯水的精度要求的不同,其工艺也有很大的区别,以下是提供的四种主要工艺,可按照以下后缀的水质精度要求,选择对应的工艺和流程; 二、 主要工艺介绍: 1、采用一级反渗透方式,其流程如下: 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→反渗透 →纯水箱→纯水泵→用水点(电导率:≦10us/cm) 2、采用二级反渗透方式,其流程如下: 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→反渗透 →纯水箱→纯水泵→用水点(电导率:≦2us/cm) 3、采用离子交换方式,其流程如下: 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透→中间水箱→中间水泵→混床→纯水箱→纯水输送泵→用水点(电阻值:≧5Ω /cm) 4、采用EDI方式,其流程如下: 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→级反渗透 →PH调节→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→中间水泵→EDI系统→纯水箱→纯水泵→用水点(电阻值:≧15Ω /cm)