TESCOM 64-3600 系列高灵敏度调压器

TESCOM 64-3600 系列高灵敏度调压器

64-3600 系列超高纯度、高灵敏度减压型调压器提供低压降、束缚隔膜设计，具备 10 Ra/0.25 微米表面光洁度。 进口压力为 600 或 3500 psig（41.4 bar 或 241 bar），出口压力可高达 150 psig (10.3 bar)。

规格

压力额定值

进口压力上限：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar

阀体材料

经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢

阀座

PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®

阀杆和阀弹簧

316 不锈钢

其他部件

316L 不锈钢

工作温度

Teflon® PFA 阀座：-40 至 160°F / -40 至 71°C
Vespel® 阀座：-40 至 350°F / -40 至 177°C
PCTFE 阀座：-40 至 140°F / -40 至 60°C

接口尺寸和类型

1/4、1/2
外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC
1/4 管接头

流通能力

Cv = 0.15 或 0.06

重量

2 lbs / 0.9 kg

功能

• 内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸/0.25 微米
• 阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供良好的密封性
• 内部经全面电解抛光处理
• 旨在减少半导体气体系统中的压力波动
• 满足严苛的半导体行业的使用点和
• 气瓶应用要求