功率分析仪

功率分析仪是一种用于测量和分析半导体芯片在工作时的电力消耗的设备。它能够提供关于电流、电压和功率等参数的详细信息，帮助设计人员优化芯片设计以减少能耗并提高效率。此外，功率分析仪还可以监控芯片在不同工作条件下的热管理情况，从而确保其正常运作并延长使用寿命。

信号源/示波器

信号源和示波器是测试半导体芯片性能不可或缺的一对工具。信号源用来生成特定的输入信号，而示波器则用来观察输出信号。通过这两者的组合，可以对芯片进行频域和时间域测试，以确定其响应特性、滞后以及其他可能的问题。在现代电子工程中，这一组合被广泛应用于验证模拟或数字集成电路（IC）的性能。

电阻计/互感器

为了评估半导体材料的物理特性，如它们之间的接触抵抗或者磁场耦合作用，通常会使用高精度的电阻计或互感器。这两种设备对于研究者来说至关重要，因为它们能够提供有关材料内部结构和行为模式的大量数据，从而有助于改进新型半导体产品。

光学显微镜

光学显微镜是一个用于直接观察半导体晶圆表面的小孔透镜系统。它不仅可以揭示晶圆上的微小瑕疵，还能帮助研发人员检查制造过程中的任何问题，比如蚀刻误差、金属沉积不均匀等问题。这项技术对于确保晶圆质量至关重要，并且在整个生产线上都是必不可少的一个步骤。

退火炉

退火是将硅单晶或者其他半导体材料加热到一定温度下，使得原子排列更为有序从而降低内聚能状态的一种工艺过程。在这个过程中，退火炉起着关键作用，它们通过精密控制温度使得硅单晶达到最佳状态，以便进一步加工成为具有良好性能的半导体件。

半自动化测试站（ATE）

随着集成电路变得越来越复杂，一些任务已经需要高度自动化的手段才能完成。因此，被动式自动测试站（BIST）或主动式自动测试站（AAT）被开发出来，它们可以执行复杂且重复性的测试任务，如功能验证、故障注入以及可靠性评估。这使得生产线上的操作更加高效，同时也大幅度地减少了人为错误发生概率。